净化车间配气设备（一般为装修吊顶过滤装置）设计为“自喷式”，用于产生均匀、洁净的过滤气体。房间里增加的灰尘让人想起消防栓和普通淋浴头。本标准规定了洁净室的主要参数、分类和检验方法的基本原则，但仍不能说明如何合理地满足经济发展的要求。这是因为每个加工工艺和洁净室的要求不同，所以可以选择不同的循环含尘量来达到估计的自然环境要求。

      车间空气污染物的比例和特定颗粒物的状况是影响洁净室空气交换的关键因素。在加工过程中，在不影响其它因素的前提下，颗粒的去除率是非常关键的。其他影响循环气体总量的因素有：房屋结构、机械设备位置、机械设备外部温度、空气对流、旋风类型（按工程面积或整个空间单侧），手术室的实际空间和规章制度、使用的原材料和化学品等。

      在很多情况下，单侧旋风除尘器仅用于室内空间狭小、净化车间敏感区域，以及微自然环境的应用。空气污染物的来源将在手套箱、过滤器控制模块和其他区域。大多数设计方案都是单侧旋风净室的总体方案。单侧旋风分离器必须在该区域没有操作人员、生产线设备和排气系统设备的情况下才能完成。垂直或水平旋风分离器的选择取决于房屋结构和机械设备的布置。流场可以携带空气污染物。

      根据洁净室的主要用途，也可选用其他机械设备。例如，在循环系统的空气加新风系统的解决方案系统软件中，可以使用高效空气过滤器装置解决VOC和静电感应过滤箱中的碳吸附或类似的产生过滤装置。

      新风系统解决了空气处理机组的补风问题。典型的家用新风系统解决了制冷机组（中低档制冷机组）为呼吸制冷机组（二次制冷机组）提供必要的家用新风系统的问题。新风系统由吸排风机、带过滤装置的轴流或插入式离心风机、用于加热和再热的热水风机盘管、用于制冷和除湿的冷水风机盘管、蒸汽和隔热空气加湿器等组成。

      各种循环系统空调机组根据排气管道将气体送入洁净室，然后通过ULPA过滤器或HEPA过滤器。在10级和1级洁净室的天花板上，过滤器一般百分百覆盖。根据洁净室的情况，垂直送风通过有洞的防静电地砖进入木地板下的室内送风空间，然后根据垂直送风管道进入吊顶送风静压箱。

      有必要增加洁净室的数量。其作用是保证洁净室能消除其相邻区域的环境污染，控制有害空气污染物的流入，避免不同区域间的交叉环境污染，有助于保持规定的温湿度水平。

      许多微电子和光刻洁净室都成功地采用了被动标准气压。只有当主入口打开时，入口的排气量才保持在每分钟50到100英尺。一些生物制药公司要求正压差控制，并选择新鲜空气系统的填充方式，自动补充门（门打开时）泄漏的气体。

      温度和湿度的变化会引起生产线设备的偏差，进而危及加工过程的精度，最终降低产量，提高消耗。因此，无尘室要严格控制温度不言而喻，成本也是必须的。