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主要净化方法:
1.乱流式:
空气通过洁净室内的风管和空气过滤器进入洁净室,空气通过洁净室两侧的隔墙板或高架地板返回。空气流动是非线性的,呈现不规则的湍流或涡流状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。
2.层流式:
层流气流沿均匀的直线运动。空气通过过滤器进入房间,覆盖率为百分百,空气通过高架地板或两侧隔墙板返回。这种气流适用于洁净室水平需要设置得更高的环境。一般洁净室等级为1~100级。
它可以分为两种类型
(1) 水平层流式:水平空气从过滤器向一个方向吹出,由对面侧壁的回风系统返回。粉尘随风向室外排放,下游侧污染严重。
(2) 垂直层流式:房间天花板完全覆盖ULPA过滤器,空气自上而下吹气,获得更高的洁净度。过程中产生的粉尘或工作人员产生的粉尘能迅速排出室内,不影响其他工作区域。
3.复合式:
复合式是一种能提供局部超洁净空气的混合型混合型。
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